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FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀

簡要描述:光學厚度測量儀的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1918

詳細介紹

 Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具,適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準確測量薄膜特性:厚度,折射率,均勻性,顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。
  1、應用
  半導體生產(chǎn)制造:(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結構, poly-Si, Si, DLC, )
  光伏產(chǎn)業(yè)
  液晶顯示
  光學薄膜
  聚合物
  微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
  基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
  Thetametrisis顯示器薄膜測量儀*的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。
  Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 光學厚度測量儀通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法,可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù),這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
  2、特征
  單點分析(不需要預估值)
  動態(tài)測量
  包括光學參數(shù)(n和k,顏色) o 為演示保存視頻
  600 多種的預存材料
  離線分析
  免費軟件更新

  3、性能參數(shù)


  4、測量原理
  白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結構的一個波長范圍內(nèi)光的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光學常數(shù)(n和k)等。


 
  1、樣片平臺可容納任意形狀的樣品。450mm平臺也可根據(jù)要求提供。真正的X-Y掃描也可能通過定制配置;
  2、硅基板上的單層SiO2薄膜的厚度值。對于其他薄膜/基質(zhì),這些值可能略有不同;
  3、15天平均值的標準差平均值。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
  4、2 X (超過15天的日平均值的標準偏差)。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;
  5、測量結果與校準的光譜橢偏儀比較;
  6、根據(jù)材料;
  7、測量以8 "晶圓為基準。如有特殊要求,掃描速度可超過1000次測量/每分鐘;
  如果您想要了解更多關于Thetametrisis膜厚儀的產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。



 

 

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