青青草三级在线,国产99久60在线视频,国产呦精品一区二区三区,精品久久国产亚洲av麻豆

當前位置:首頁  >  新聞資訊  >  接觸式光刻機的曝光方式大致可分為以下三種

接觸式光刻機的曝光方式大致可分為以下三種

更新時間:2022-02-15  |  點擊率:3909
  接觸式光刻機的核心原理就是一個透鏡組,在精度上首先咱們有個概念:我們現(xiàn)在芯片的線條精度已發(fā)展到10nm級別,而較大的原子直徑是將近1nm,我們把芯片放在電子顯微鏡下即可清晰地數(shù)出每個線條上有幾個原子,“調(diào)節(jié)屈光度”是典型的幾何光學(初等光學)概念,遠遠實現(xiàn)不了這個精度。
 
  接觸式光刻機的曝光方式:
  主要有三種,分別是接觸式曝光、非接觸式曝光和投影式曝光。
  1、接觸式曝光:就是將掩膜與還沒加工基片的光膠層直接接觸并進行的曝光;
  2、非接觸式曝光:是指掩膜和基片的光膠層不直接接觸來實現(xiàn)圖形復印的曝光;
  3、投影式曝光:是指掩膜與基片不直接接觸,但用投影儀分方式來實現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移。
 
  接觸式光刻機的主要性能指標有:
  支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。
  分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
  曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準分子激光器等。
国产精品亚洲欧美大片在线观看 | 在线观看 国产精品一区| 人妻体内射精一区二区三区| 亚洲另类成人小说综合网| 插鸡巴网站一区| 国产在线观看观| 亚洲欧洲精品无码久久久| 国产三级亚洲三级在线理论| 99国产精品成人av片免费看 | av区无码字幕中文一区| 九九精品蜜桃av九九九| 精品久久久久久久精品三级| 波多野结衣超清无码教师| 精品日韩一区精品日韩国产| 国产你懂的免费精品视频| 亚洲卡一卡二新区无人区| 876av国产精品电影| 日韩视频一区 二区 三区| 国产精品1000部视频| 欧美日韩亚洲国产在线制服| 成人av一区二区三区久久| 久久久亚洲春色AV无码| 日日噜久久人妻一区二区| 99久精品中文在线视频| 天天爽夜夜爽精品视频一| 无码高潮A视频在线观看| 啵多野结衣无码在线观看| 亚洲欧美日韩另类在线视频| 欧美日韩国产在线综合一区| 国产成人精品视频午夜蜜蜂| 国产精品俺来也在线观看| 女女同恋一区二区在线观看| 99久久精品费精品国产一区二| 精品久久久久久中字幕天码| av片在线观看| 综合久久久综合网站88| 国产精品日本女优在线观看| 欧美日韩电影免费在线观看| 卡1卡2卡三卡精品视频| 国产精品呻吟一区二区三区| 天天爽夜夜爽夜夜爽精品视频|