FR-Scanner-AIO-Mic-XY200是一款集成了顯微鏡的自動(dòng)薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng)，用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測(cè)量。電動(dòng)X-Y載物臺(tái)提供適用尺寸 200mm x 200mm的行程，可在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學(xué)配置。